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加热式电容膜片真空计SKY@CDG160D/CDG200D
点击次数：593 更新时间：2024-11-19
 


加热式电容膜片真空计

SKY@CDG160D/CDG200D

 

 

INFICON  SKY  CDG160D和CDG200D  高温压力计是实现

精确总压测量与控制的理想之选。CDG160D  和CDG200D

真空计温度分别控制在160°℃和200℃,具有的性






能，适用于苛刻的半导体和等离子过程。在1托至1000托

满刻度范围内均可使用，带有所有常用类型的法兰和现场

总线接口，能够提供0至10伏、不受气体类型限制的线性

压力信号。INFICON  电容式压力计采用超纯氧化铝陶瓷隔

膜，具有防腐蚀性。陶瓷传感器具有信号稳定性更佳、从

大气恢复的速度更快、预热时间短和使用寿命长等诸多优

势 。INFICON   CDG压力传感器品质本效

益，适用于苛刻的半导体、等离子和真空应用。

 

优势

·拥有成本更低，预热速度快50%,节能，低功耗

·易于集成，各种满刻度、法兰和接口，标配两个设定点

·轻松一键调零或远程信号调零指令，可调零点偏移

·诊断端口用于快速维修和维护

·两年保修服务， HT 加热概念和真空计保护延长了使用寿

命

的信号稳定性和可重复性，即使是最严苛的等离子

应用，都无需长期执行重新校准

·合规和标准：CE、EN、UL、SEMI、RoHS

应用范围

·蚀刻、CVD、PVD及其他半导体生产过程

·化学和腐蚀性高温过程

·需要真空计保护的一般薄膜和真空过程

 



 

SKY@CDG160D/CDG200D

 

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1)   优化的压力控制信号滤波器设置

2)   不能使用现场总线接口

 

粗体=标准产品

其他法兰类型可按要求提供。

 

 

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SKY@CDG160D/CDG200D

 

规格(以托为单位的标准产品)

 

测量范围

托

1000

100             10

1

FS(满刻度)

毫巴

帕

133,322

1333

13,332           1,333

133            13.3

133

1.3

精度1)

读数%


0.4


温度效应





需点

%FS/℃


0.005


满量程

读 数 % / ℃


0.02


最大压力

千帕(绝对)

400

260             260

260

分辨率

%FS


0.003


读数

%FS


0.01


建议的读数

%FS


0.05


建议的控制

压力

 

%FS


 

0.5


温度





运行(环境)²

℃


+10 .+50


在法兰处烘烤

℃


≤200


存储

℃


-20 .…+65


电源电压



+21 …+30伏(直流)或±15伏(±5%)


加热时功耗





CDG160D

W


≤18


CDG200D

W


≤25


运行温度时的功耗 CDG160D

CDG200D

 

 

W

W


 

≤12

≤18


输出信号(模拟)

伏(直流)


0.…+10


响应时间3)

毫秒


30


防护等级



IP 40


标准

CE符合性

ETL认证

SEMI合规性



 

EN 61000-6-2、EN 61000-6-3、EN 61010 UL 61010-1、CSA 22.2 No.61010-1

SEMI S-2


电气连接



D-Sub,15针，公头


设定值



2个设定点(SP1、SP2)


继电器触点

伏(直流)/安(直


≤30/≤0.5


滞后

流 )

%FS


1


诊断端口

协议

读

设置

暴露于真空的材料



 

RS232-C

压力、状态、ID

设定点、过滤器、调零、出厂设置复位、直流偏置 氧化铝陶瓷(Al₂O₃)、不锈钢(AISI 316L⁴)


1)在25°℃环境运行温度下表现为非线性、滞后、再现性，运行两小时后无温度效应

2) 环境温度>40℃,可能会使表面温度高于SEMIS2 合规水平—标记“小心烫伤!"

3)增加10.…90% FS

4)18%Cr、10%Ni、3%Mo、69%Fe

 

 

 



 

 

 

 

 

SKY@CDG160D/CDG200D

 

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SKY@CDG160D/CDG200D

 

DEVICENET规格

 

DeviceNetTM

协议

DeviceNetTM,仅第2组从属

数据率开关                         千波特

125、250、500或可网络编程

电缆长度

125 kbps                           米(英尺)

250 kbps                           米(英尺)

500 kbps                           米(英尺)

 

500(1650)

250  (825)

100  (330)

MAC ID

两个开关(地址00-63)或可网络编程

数字功能

读取压力，选择单位：托、毫巴、帕

脱气功能，皮拉尼满刻度调节

监测真空计状态

安全状态允许定义出错时的行为

详细的警报和警告信息

模拟功能

0 …10伏模拟输出压力指示

两个设定点继电器A+B

视觉通讯指示灯

LED网络状态(绿色/红色)

LED模块状态(绿色/红色)

规格

DeviceNetTM“真空计设备概况"

设备类型

“CG"表示组合仪表

/O从属传讯

只轮询

设定点继电器

范围

继电器触点

滞后

触点额定值

 

毫巴

 

读数%

伏/安(直流)

2

1×10°…100

常开，无电势

10

60/0.5

DeviceNetTM的电源电压 真空计的电源电压

DeviceNetTM的连接器

伏/安(直流)

伏/安(直流)

+11-+25/0.5

+20 -+28/0.8

微型，5针

D-Sub,15针，公头

真空计的连接器(模拟输出、电源电压、

设定点

 

 

PROFIBUS

Profibus


D规格

DP

 

波特率

千波特

兆 波 特

9.6/19.2/93.75/187.5/500

1.5/12

地址

两 个 开 关 ( 地 址 0 0 - 1 2 7 ) 或 可 网 络 编 程

数字功能


读取压力，选择单位：托、毫巴、帕

脱气功能，皮拉尼满刻度调节

监测真空计状态、灯丝状态

安全状态允许定义出错时的行为

详 细 的 警 报 和 警 告 信 息

模拟功能


0…10伏模拟输出压力指示

两 个 设 定 点 继 电 器 A + B

设定点继电器


2

范围

毫巴

1×10⁸.…100

继电器触点


常开，无电势

滞后

读 数 %

10

触点额定值

伏/安(直流)

≤30/≤0.5

Profibus  DP的连接器


D-Sub,9  针，母头

BPG 的连接器(模拟输出、电源电压、设 定 点 )


D-Sub,15    针，公头

 

 

        


SKY@CDG160D/CDG200D

 

 

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